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復合真空計的原理和使用方法

更新時間:2019-08-26點擊次數:3795

真空計是測量真空系統中氣體壓強的儀器,種類很多,這里介紹的復合真空計是常見的一種,復合真空計是由溫差電偶真空計與熱陰極電離真空計組合而成。
 

  溫差電偶真空計的原理
 

  溫差電偶真空規管由玻璃制成,通過小管8和真空系統相接,在規管內的兩根引線上裝有熱絲3,另外兩根引線上焊著一對溫差電偶4,溫差電偶的另一端與熱絲在A點焊接。
 

  由于在低壓下,氣體的熱傳導系數與壓強成正比,所以在通過熱絲的電流( 90~150 mA)一定的條件下,熱絲的溫度隨著規管內真空度的提高而升高,溫差電偶電動勢也隨之而增大。因此,通過測量溫差電偶電動勢,可以確定出被測系統的真空度,溫差電偶真空計則是根據這個原理制成的。溫差電偶真空計的電離真空計的測量范圍1~5×10-2 Pa。
 

  熱陰極電離真空計的原理
 

  電離真空規管是一只三極管,通過B管與真空系統相接,使用時,在燈絲電路中通以電流5mA,燈絲受熱后便發射電子,由于柵極為正電壓,使電子加速,中途與氣體分子相碰,氣體的密度越大,碰撞機會越大,產生的正離子也越多。另外,由于板極電壓為負,便吸引正離子在板極電路中形成板極電流Ip,氣體分子密度越大( 即壓強越大),板極電流也越大,反之越小。

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