1、基體金屬磁性質

磁性法測厚受基體金屬磁性變化的影響（在實際應用中，低碳鋼磁性的變化可以認為是輕微的），為了避免熱處理和冷加工因素的影響，應使用與試件基體金屬具有相同性質的標準片對涂層測厚儀進行校準；亦可用待涂覆試件進行校準。

2、基體金屬電性質 

基體金屬的電導率對測量有影響，而基體金屬的電導率與其材料成分及熱處理方法有關。使用與試件基體金屬具有相同性質的標準片對儀器進行校準。

3、基體金屬厚度

每一種涂層測厚儀有一個基體金屬的臨界厚度。大于這個厚度，測量就不受基體金屬厚度的影響。

4、邊緣效應

本儀器對試件表面形狀的陡變敏感。因此在靠近試件邊緣或內轉角處進行測量是不可靠的。

5、曲率

試件的曲率對測量有影響。這種影響總是隨著曲率半徑的減少明顯地增大。因此，在彎曲試件的表面上測量是不可靠的。

6、試件的變形

測頭會使軟覆蓋層試件變形，因此在這些試件上測出可靠的數據。